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微熱板

MEMS器件設計 - 微熱板

微熱板芯片一般用于MEMS氣體傳感器，集成微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測氣敏材料的電阻變化。
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●  集成微型加熱器和叉指電極，面積小，利于集成
●  功耗低
●  可靠性高
●  控溫準
●  尺寸：1.0*1.0*0.3mm
●  加熱絲材料：鉑
●  熱響應時間：<10ms
●  工作電壓：<4V
典型應用：
●  用于氣體傳感器
 
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